بررسی پارامترهای مؤثر بر پوششهای N

پوششهای نیتریدی بر روی زیر لایه‌های متفاوت با استفاده از تکنیکهای مختلف PVD و انواع گوناگون کاتد ( بطور مثال آلیاژ یا فلز خالص) ایجاد می‌گردند. مواد زیرلایه شامل انواع مختلفی از ابزارهای صنعتی و مواد قالب می‌باشد. پارامترهای مؤثر بر رسوب که در اینجا بررسی می‌شوند شامل جریان کاتدی( در حالت کاتد فلز خالص)، ولتاژ bias زیر لایه ، فشار جزئی گاز، لایة میانی بین پوشش و زیر لایه و دانسیته قدرت مغناطیسی[1] می‌باشد. این پارامترها اصولاً بر ترکیب، سختی، خواص سایشی و مورفولوژی پوش ...